微波杀菌主要依靠以下两方面来完成：
微波能的热效应:在一定强度微波场的作用下，食品中的虫类和菌体会因分子极化现象，吸收微波能升温，从而使其蛋白---性，失去生物活性。微波的热效应主要起快速升温杀菌作用；
微波能的非热效应:高频的电场也使其膜电位、极性分子结构发生改变；使微生物体内蛋白质和生理活性物质发生变异，而丧失活力或。在灭菌中起到了常规物理灭菌所没有的特殊作用，也是造成---原因之一。
在微波真空干燥设备中，由于茶叶水分含量高，水分子在电磁场中被氧化，因而具有偶性。因为电磁波的频率不同，方向不同，高速振动分子所产生的摩擦热，使茶叶从深层被加热，使各地温度保持一致。利用微波真空干燥装置可以快速提高茶叶的温度，达到灭酶临界点温度，加速结构水的迁移。可用于绿茶的杀青工艺和茶后干燥。 采用微波真空烘干设备烘干茶叶，制得的绿茶有效营养成分基本不流失，色、香、味均优于传统工艺。微波真空干燥是一种理想的茶叶杀青后再干燥方法，其应用的关键在于微波频率、功率、物料移动速度、微波加热设备结构以及微波杀青干燥技术指标的匹配。
微波干燥杀菌设备原理：
微波源采用连续波磁控管作为微波振荡源，磁控管为正交场型微波电子管，直流电场和恒定磁场相互垂直。磁控制正振器是一种复杂的谐振系统，它是由许多小谐振器组成。正则块是微波频率选择的网络，负则块所发射的电子，首先受直流电场的作用，呈角度弯曲，在由负到正的流动过程中，轮摆轨迹发生变化，在高频场与电子云同步的情况下，轨迹朝正上升，形成电子轮辐。在轮辐高频场下，电子将位能转换为高频场的能量，使高频场幅增大。磁控管起振后，储存在谐振器中的直流电转换成高频能，通过波导输出足够大的微波能量。
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